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孔徑 |
20 mm |
30 mm |
50 mm |
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波長選項 |
UV: 355 nm |
CO2: 9.36µm,10.6 µm |
CO2: 9.36µm, 10.6µm |
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Typical Processing Speed1 |
50 rad/s |
50 rad/s |
18 rad/s |
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重複性 |
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Command Resolution |
24-(bit) |
24-(bit) |
24-(bit) |
注意:除非另有說明,否則所有角度均為光學度數。
1.工作範圍和輸入孔鏡隨三鏡頭總成而異。
2.RMS, per axis