產品 |
ProSeries 2 |
LightningTM II |
特色 |
提供高精度;適用於大孔徑應用 |
提供高精度和高速度;位置分辦率達24位 |
波長選擇 |
355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm |
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孔鏡尺寸 |
20 mm | 25 mm |
20 mm | 25 mm | 27 mm | 30 mm |
掃描角度 |
± 20° | ± 20° |
± 20° | ± 17° | ± 18° | ± 22° |
常規處理速度1 |
1.0 m/s | 0.9 m/s |
50 rad/sec |
步級響應2,3 (µsec) |
800 | 900 |
370 | 360 | 450 | 550 |
命令解析 |
16-位 |
24-位 |
重複精度4,5 (µrad) |
12 | 12 |
<1 |
長期漂移6,7 |
位置漂移: |
10 µrad |
熱漂移 |
位置漂移: |
2 µrad opt/°C |
模組化或封閉式 |
封閉式 |
模組化 |
數據表 | ProSeries 2 大孔徑掃描頭 | |
注意: |
所有角度均為光學度數,除非另有說明。
1. 160 mm F-Theta 聚焦鏡頭用於標記和打標速度測試。
2.單筆劃 1 mm 字符、SIMPLEX 字體。
3.對於 ProSeries 和 LXP 掃描振鏡:假定步長為全量程的 1%。
4.對於LightningTM II 掃描振鏡:假定步長為 10 mrad。
5.對於 ProSeries 和 LXP 掃描振鏡:平均值
6.對於 LightningTM II 掃描振鏡:RMS、各軸。
7.針對 ProSeries 和 LXP 掃描振鏡: 預熱 30 分鐘之後,在操作 24 小時過程之中,各軸。
8.針對 LightningTM II 掃描振鏡:預熱 30 分鐘之後,在操作 8 小時過程之中,各軸。 |