CTI 的 62xxH 和 83xxK 系列振鏡掃描皆圍繞一個高度優化的移動磁電機以及專利定位檢測技術為基礎設計,使每個掃描振鏡都能根據鏡面尺寸進行快速精確的光學掃描。無論是速度、準確度、運行軌跡或價格上面,我們提供了高性能及有價值的廣泛配置。
特點:
● 業內最快的速度,低漂移和長期穩定性
● 卓越的精度和準確度,確保高質量的掃描輸出
● 範圍廣泛的孔徑尺寸和鏡面鍍膜
● 壓縮型式的機型,佔地面積小,確保小空間易於整合
● 提供從高性能到高性價比的廣泛產品
25 - 50 mm
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62xxH 系列 XY 振鏡模組 |
83xxK 系列 XY 振鏡模組 |
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特色 |
Industry’s leading solution which reliably drives large loads for all general processing applications. |
Provides higher stability and increased resolution required by large field applications and precise material processing. |
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波長選項 |
355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm |
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最大的掃描角度 |
40° |
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小角度步級響應1(常規) |
1 ms - 5 ms |
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線性度 |
最低限度為99.9% ,超過 20° |
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比例漂移(最大) |
50 ppm/°C |
15 ppm/°C |
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零點漂移(最大) |
15 μrad/°C |
5 μrad/°C |
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重複精準 |
8 μrad |
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兼容型伺服驅動器 |
模擬系列 671, 673 |
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注意 |
除非另有說明,否則所有角度均為機械角度。 1. 0.1°步距並穩定在最終位置的99%。需使用 Cambridge Technology 伺服控制板。 |
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