專業XY 振動馬達 25－50 mm 廠商

62xxH 系列 XY 振鏡模組

83xxK 系列 XY 振鏡模組

特色

Industry’s leading solution which reliably drives large loads for all general processing applications. 

Provides higher stability and increased resolution required by large field applications and precise material processing.

波長選項

355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm
寬帶鍍膜: 350 nm – 12 μm

最大的掃描角度

40°

小角度步級響應1（常規）

1 ms - 5 ms

線性度

最低限度為99.9% ,超過 20°
常規為99.5% , 超過40°

比例漂移（最大）

50 ppm/°C

15 ppm/°C

零點漂移（最大）

15 μrad/°C

5 μrad/°C

重複精準

8 μrad

兼容型伺服驅動器

模擬系列  671, 673
數字系列  DC900, DC2000, DC3000 Plus

注意

除非另有說明，否則所有角度均為機械角度。 

1. 0.1°步距並穩定在最終位置的99%。需使用 Cambridge Technology 伺服控制板。